[15p-P11-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[15p-P11-7] 伸張歪みSi/緩和SiGe/Si(110)ヘテロ構造の結晶成長中における表面形状形成過程に関する研究

〇(M1)山田 崇峰¹、宇津山 直人¹、佐藤 圭¹、白倉 麻衣²、山本 千綾³、有元 圭介¹、山中 淳二¹、原 康祐¹、宇佐美 徳隆⁴、澤野 憲太郎⁵、中川 清和¹ (1.山梨大クリスタル研、2.山梨大ものづくりセンター、3.山梨大機器分析センター、4.名古屋大、5.東京都市大総研)

キーワード：歪みSi、半導体