[15p-P13-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-P13-12] LIAスパッタ法により成膜したAlO_x膜のXPS評価

〇西村 郁哉¹、森 英喜¹、新船 幸二¹、佐藤 真一¹、吉田 晴彦¹ (1.兵庫県立大院工)

キーワード：太陽電池、固定電荷、XPS