[15p-P13-1~17] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[15p-P13-13] Fabrication of interdigitated back-contact silicon heterojunction solar cells on a thin crystalline silicon substrate using inkjet printing

〇Hideyuki Takagishi¹, Hiroshi Noge¹, Kimihiko Saito¹, Michio Kondo² (1.Fukushima Univ., 2.AIST)

Keywords:interdigitated back-contact silicon heterojunction solar cell, inkjet, thin-film crystalline silicon

インクジェット印刷によるエッチングマスク作製法を、裏面電極型ヘテロ接合太陽電池の作製に適用した。今回用いた結晶シリコン基板は厚さ100μm以下の薄型基板であり、一般的な加工法（フォトリソグラフィ）では容易に破損してしまう。一方、非接触印刷であるインクジェット印刷は基板にダメージを与えずに加工できるため、薄型基板を破損させることなく太陽電池が作製できた。変換効率は9%（AM1.5, 受光面積1.0 cm²）