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[15p-P13-14] 太陽電池構造評価に適した光照射が可能なAFM/KFM装置の開発
キーワード:結晶シリコン太陽電池、AFM/KFM、仕事関数測定
太陽電池の動作状態における電子状態解析の実現のため、測定中に基板表面への光照射が可能なAFM/KFM装置の開発を行った。完全な暗状態及び任意の光源による光照射下の測定が可能な装置を作製した。太陽電池特性は明・暗状態下で局所的なポテンシャル変化やキャリア分布を測定することで評価できる。本発表ではSi基板表面に作製したp-n接合の開放及び短絡時における仕事関数分布について報告を行う。