[15p-P13-1~17] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[15p-P13-5] Surface passivation effect of alumina thin films prepared by spin coating method Ⅳ

Ryo Ito¹, Risa Yanai¹, Mizuho Kawashima¹, 〇Ryosuke Watanabe¹, Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ.)

Keywords:Solar cells, Passivation, Sol-gel

これまで我々は、p型Si基板でのパッシベーション膜として期待されるアルミナ膜を、より簡便なプロセスとして、ゾルゲル法により作製し評価を行ってきた。500℃1hにて焼成を行った試料では膜厚が薄く、作製から時間が経過すると少数キャリアライフタイムの低下が見られた。今回は焼成条件の検討を行い、アルミナ膜を複数回スピンコートし、形成したところ、試料作製後のライフタイムの焼成後時間経過依存性が改善された。