[15p-P13-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-P13-5] スピンコート法で作製したアルミナ薄膜の表面パッシベーション効果Ⅳ

伊藤 瞭¹、柳井 梨沙¹、川島 瑞穂¹、〇渡邊 良祐¹、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：太陽電池、パッシベーション、ゾルゲル

これまで我々は、p型Si基板でのパッシベーション膜として期待されるアルミナ膜を、より簡便なプロセスとして、ゾルゲル法により作製し評価を行ってきた。500℃1hにて焼成を行った試料では膜厚が薄く、作製から時間が経過すると少数キャリアライフタイムの低下が見られた。今回は焼成条件の検討を行い、アルミナ膜を複数回スピンコートし、形成したところ、試料作製後のライフタイムの焼成後時間経過依存性が改善された。