[15p-P13-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-P13-6] 単結晶Si基板へのスピンコーティング法による多層反射防止膜の形成

越阪部 卓¹、眞利子 岳比郎¹、〇渡邊 良祐¹、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：太陽電池、反射防止膜

太陽電池の変換効率向上を目的として、異なる屈折率を持った薄膜を組み合わせて、反射率を低減させる多層反射防止膜の形成を試みた。ここで、現在反射防止膜の成膜方法として主流になっているプラズマCVD法に比べて低コストかつ作製の簡便なスピンコーティング法によって成膜を行った。加えて、反射防止膜を成膜した太陽電池の作製も行い、性能の検証を行った。