[15p-P13-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-P13-8] SiN_x:H/AlO_xパッシベーションスタック構造を持つSi基板への光照射の影響

〇(M2)市川 寛章¹、高橋 勲¹、宇佐美 徳隆¹、白澤 勝彦²、高遠 秀尚² (1.名大院工、2.産総研)

キーワード：太陽電池、シリコン、パッシベーション