[15p-P14-1~71] 2 放射線（ポスター）

[15p-P14-68] 走査透過型電子顕微鏡EDS用ポリキャピラリーレンズの特性評価

〇都留 由紀子¹、高野 彬¹、前畑 京介¹、伊豫本 直子¹、原 徹²、満田 和久³、山崎 典子³、田中 啓一⁴ (1.九大工、2.物質・材料研究機構、3.宇宙航空研究開発機構、4.日立ハイテクサイエンス)

キーワード：ポリキャピラリー、TES型マイクロカロリメータ、走査透過型電子顕微鏡

走査透過型電子顕微鏡(STEM)に搭載するエネルギー分散型分光器(EDS)システムとして、超伝導相転移端温度計(TES)型X線検出器を開発している。TES型X線検出器の実効的な検出立体角を大きくするためにポリキャピラリーを使用している。正確な分析を行うためにはポリキャピラリーのX線伝送特性を把握する必要があるので、測定システムを構築してポリキャピラリーの特性評価を行った。