[15p-P15-1~8] 6.5 表面物理・真空

[15p-P15-7] メッシュ型ヒーターを用いた高温その場観察法

寺澤 知潮^1,2、菊池 章吾¹、〇手面 学¹、木塚 徳志¹ (1.筑波大、2.名大)

キーワード：その場電子顕微鏡法、高温、ナノ構造材料

これまで抵抗加熱源を用いた高温ステージの最高温度は1400K程度であり、使用温度が1700K程度の航空機・エンジン材料等の研究には対応できなかった。本研究では、メッシュ型の金属ヒーターを抵抗加熱源とした。ヒーターの電力－加熱温度関係は線形関係であり、到達温度は従来の抵抗加熱源のそれを数百度以上高くなることがわかった。観察時の空間分解能を調べた結果、1300 Kにおいて、ジルコニアの格子縞が観察できることが明らかになった。