[15p-P3-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-27] 分子プレカーサー溶液を用いたESD法によるZnO膜の形成条件の検討

〇(M1)小澤 竜平¹、工藤 幸寛¹、永井 裕己¹、佐藤 光史¹、高橋 泰樹¹ (1.工学院大)

キーワード：分子プレカーサー法、ESD法、透明電極