[15p-P3-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-28] 塗布法によるZnO多層透明導電膜の作製とドーパント添加量依存性の評価

〇森田 祐輔¹、大谷 直毅¹ (1.同志社大院理工)

キーワード：薄膜、酸化亜鉛、多層

AlとGaを共ドープさせた酸化亜鉛透明導電膜に関し、多層成膜を行うことによる抵抗値、透過率および成膜品質等の変化を比較検討すると同時に、最小抵抗値を得るための条件を追究する。