[15p-P3-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-30] 固相成長法で作製したNbO₂多結晶薄膜の電気・光学特性

〇中尾 祥一郎¹、神坂 英幸²、廣瀬 靖^1,2、長谷川 哲也^1,2 (1.神奈川科学技術アカデミー、2.東大理)

キーワード：固相成長法、NbO2、パルスレーザー堆積法

NbO₂は歪んだルチル構造を持ち、バルクでは10⁴ ohm*cm 程度の抵抗率を示す。近年、NbO₂薄膜の電子デバイスへの応用が報告されているが、薄膜自体の電気特性は殆ど調べられていない。更に光学ギャップの値についても議論が分かれている。以前、我々は非晶質前駆体薄膜の酸素量がNbO₂多結晶薄膜の結晶性や配向制御に重要である事を報告した。今回、得られたNbO₂薄膜の電気・光学特性を報告する。