[15p-P3-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-32] 金属・半導体ナノ粒子分散SiO₂の形成と評価

〇出村 洋智¹、Ulyashin Alexander²、永吉 浩¹ (1.東京高専、2.SINTEF)

キーワード：PHPS、ナノ粒子

液体原料SiO₂であるパーヒドロポリシラザン(PHPS)は空気中の水分と反応し、純粋なSiO₂に転化する特徴を持つ。先行研究よりPHPSによって形成したSiO₂膜は良好なパッシベーション特性を示すことが判明しており、これに様々なナノ粒子を組み合わせることで新たな特性を持つ機能性薄膜の形成を目的としている。今回はP＋Siナノ粒子とPHPS,N型Si基板の組み合わせによる粒径、濃度依存性について報告する。