[15p-P3-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-4] Nd:YAGレーザーの第4次高調波を用いたPLD法によるホモエピタキシャルSrTiO₃薄膜のポストアニール効果

〇富士原 巧¹、小野寺 巧¹、中村 基訓¹、吉本 健一¹、篁 耕司¹ (1.旭川高専)

キーワード：PLD、アニール効果、YAG