2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2016年9月15日(木) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホール)

13:30 〜 15:30

[15p-P3-4] Nd:YAGレーザーの第4次高調波を用いたPLD法によるホモエピタキシャルSrTiO3薄膜のポストアニール効果

富士原 巧1、小野寺 巧1、中村 基訓1、吉本 健一1、篁 耕司1 (1.旭川高専)

キーワード:PLD、アニール効果、YAG