[15p-P4-1~15] 6.6 プローブ顕微鏡

[15p-P4-14] ＡＦＭによるマイカ表面上銀ナノアイランドの移動制御

〇(M1)島 貴明¹、長谷川 剛¹ (1.早大先進理工)

キーワード：原子間力顕微鏡(AFM)、マイカ、銀

本研究では,絶縁体材料であるマイカ基板上に金属のナノアイランドを形成,原子間力顕微鏡（AFM）のコンタクトモードによる移動操作を行った.マイカ基板を加熱しながら銀を真空蒸着することで,大きさ20nmから80nm程度,高さ約2nmの銀ナノアイランドが形成された.移動操作は,AFMのカンチレバーによって行った.この技術はナノ構造の電気特性評価を行うためのナノ電極の形成などへの応用が期待されている.