[15p-P4-1~15] 6.6 Probe Microscopy

[15p-P4-5] Development of measurement techniques combining 3DAP snd STM

〇Yukihiro Yamaguchi¹, Shu Kurokawa¹, Akira Sakai¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:three dimensional atom probe, scanning tunneling microscope

3次元アトムプローブ(3DAP)の測定データの再構成には針状試料の表面形状を考慮することが必須である。本研究では走査トンネル顕微鏡(STM)にて詳細な形状を観察し、3DAPデータの再構成の高度化する手法の開発を行った。本実験の結果、針状の3DAP試料のSTMによる観察が可能であることが示唆された。よって、この手法を用いることで3DAPデータの高精度再構成が可能であることが考えられる。