[15p-P4-1~15] 6.6 プローブ顕微鏡

[15p-P4-5] 3DAPとSTMの併用による複合測定手法の開発

〇山口 幸大¹、黒川 修¹、酒井 明¹ (1.京都大学)

キーワード：3次元アトムプローブ、走査トンネル顕微鏡

3次元アトムプローブ(3DAP)の測定データの再構成には針状試料の表面形状を考慮することが必須である。本研究では走査トンネル顕微鏡(STM)にて詳細な形状を観察し、3DAPデータの再構成の高度化する手法の開発を行った。本実験の結果、針状の3DAP試料のSTMによる観察が可能であることが示唆された。よって、この手法を用いることで3DAPデータの高精度再構成が可能であることが考えられる。