[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[15p-P6-5] プラズマプロセスによる水素脆性防止膜の作製と評価I

〇川崎 仁晴¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、西口 廣志¹ (1.佐世保高専)

キーワード：プラズマコーティング

現在，持続可能な水素エネルギーシステムの実現に向け，水素ぜい化問題および水素利用機器のコスト高が課題となっている。例えば、ステンレス鋼SUS316Lやアルミニウム合金A6061-T6などは耐水素侵入特性が良い等の理由で水素ぜい化が起こりにくいとされ[1]、高圧水素タンク等の水素利用機器の金属材料候補材として挙げられているが，これらはコストが高い。炭素鋼などの安価な材料で水素利用機器をつくり，表面のみに上述のアルミニウムなどでコーティングする研究が増えてきている。本研究では、プラズマプロセスを用いた薄膜作製とその効果について検討する。