[15p-P9-1~4] 12.2 評価・基礎物性

[15p-P9-4] 長い捕獲パルス幅を用いたDLTS測定による有機TFTのトラップ評価

〇大田 貴士¹、徳田 豊¹、阿南 裕穂²、加藤 哲弥²、片山 雅之² (1.愛知工大、2.（株）デンソー)

キーワード：DLTS、有機薄膜トランジスタ

我々は短いパルス幅（10ms）から長いパルス幅（1000s）までの捕獲パルスを用いて、電流DLTS測定を行い有機薄膜TFTのトラップ準位密度分布を評価したので報告する。深い準位ほど長いパルスでDLTS信号が増加し、浅い準位ではパルスを長くすると信号が減少した。これはトラップ濃度に比べ捕獲時に利用できる正孔が少ないこと、長い捕獲パルス時のトラップ間の再捕獲などが考えられるが、現在検討を行っている。