[16a-A21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-A21-12] 窒化物半導体成長メカニズムの熱力学的考察

〇(M1)関口 一樹¹、白川 裕規¹、長川 健太¹、洗平 昌晃^1,2、寒川 義裕³、柿本 浩一³、白石 賢二^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)

キーワード：窒化物半導体、有機金属気相成長法、熱力学解析