[16a-A22-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16a-A22-10] Snドープα-(Al_xGa_1-x)₂O₃薄膜の作製とESR測定

〇竹本 柊¹、内田 貴之¹、神野 莉絵奈¹、金子 健太郎¹、田中 勝久¹、藤田 静雄¹ (1.京大院工)

キーワード：半導体、酸化物