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[16a-A24-1] Axial型ワイヤー構造太陽電池の作製
キーワード:太陽電池、ワイヤー構造
Axial型にエミッタ層が拡散されたワイヤー加工基板に対し、シリカ粒子を埋め込み、Al1-xOx膜を製膜することでワイヤー強度を高め、CMP加工を行うことでワイヤー頭頂部の頭出しに成功した。さらに、Axial型の拡散ワイヤーセルを作製し、効率8.2%を達成した。会議では、Axial型拡散ワイヤーセルのセル特性に加えて、ワイヤーアレイの全表面にエミッタ層が拡散されたRadial型のワイヤーセルのセル特性を比較した結果も報告する。