[16a-A24-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[16a-A24-6] 高圧水素プラズマ化学輸送を用いたSi精製プロセスにおけるP不純物除去手法の開発

〇大参 宏昌¹、垣内 弘章¹、安武 潔¹ (1.阪大院工)

キーワード：シリコン、精製、プラズマ