[16a-A25-1~16] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16a-A25-12] 硫化インジウム薄膜のギャップ内準位評価

〇後藤 民浩¹ (1.群馬大理工)

キーワード：硫化物、ギャップ内準位、光熱偏向分光法

In-S薄膜のギャップ内準位の理解を目指し研究を行なった。Arガスおよび硫黄ガス中で熱処理を行ない、サブギャップ光吸収の大幅な変化を観測した。