[16a-A25-1~16] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16a-A25-14] 安定化アモルファスSe膜におけるドープ機構

〇田中 啓司¹ (1.北大工)

キーワード：アモルファス、セレン、ビジコン

超高感度ビジコンやx線撮像素子へのa-Se膜の応用が進展しているが，それらに用いられている安定化a-Se膜のドープ機構（おおよそ0.2% Asと20ppm Clを含有）は未解決である．従来の推論は，未結合種の密度がドーパントによって変化するというものであるが，a-Seに荷電欠陥モデルを適用することには問題がありそうだし，0.2%：20ppmの比の意味も説明できていない．
ここでは，いくつかのSeクラスターのHOMO-LUMOエネルギーなどを第一原理計算することにより，ドープ機構に関する新モデルを提案する．