[16a-A25-1~16] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16a-A25-9] Bi₂Te₃薄膜からのナノニードル作製

〇桑原 正史¹、上原 洋一³、鶴岡 徹²、保坂 純男⁴、坂井 穣⁵、阿部 真帆³、曽根 逸人⁴ (1.産総研、2.物材機構、3.東北大、4.群馬大、5.トゥール大)

キーワード：カルコゲナイド、ナノニードル、組成分析

カルコゲン化合物は、光記録や電子メモリーの記録膜として実用化され、また古くは熱電変換材料として研究されてきた。我々は、カルコゲン化合物のナノ構造化に伴う新規な物性を見出し、電子デバイスや熱電変換素子に応用する可能性を探っている。これまでにSb₂Te₃やGe₂Sb₂Te₅ (GST)ナノ構造化を行い、構造や組成の評価[1,2]を行った。しかしながら、これらの材料から作製したナノ構造の組成は、主にTeであった。これは、Teの融点が一番低く、動きやすいためであると推測される。今回、Teより融点が低いBiからなるカルコゲン材料(Bi₂Te₃)より、ナノ構造（ナノニードル）を作製、その組成を評価したので報告する。