[16a-A31-1~9] 6.3 Oxide electronics

[16a-A31-3] Permittivity Measurements of Thin Films of Solid-State-Li⁺ Electrolytes by AM-AFM

〇Kenji Kimura¹, Munekazu Motoyama¹, Yasutoshi Iriyama¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:soild electrolyte

酸化物系および硫化物系の全固体リチウム電池開発が盛んに行われている．それにともない，固体電池内部の電位またはLi⁺濃度の局所分布を測定するための手法が必要とされている．原子間力顕微鏡（AFM）を用いた表面電位測定には電気力顕微鏡（EFM）やケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）が用いられる．しかしEFMは定量性に乏しく，KPFMは交流電圧を印加するため絶縁性試料の測定に適さない．一方，近年では振幅変調型（AM）AFMを用いた探針・試料間の相互作用力プロファイル解析法が報告されている．相互作用力の関数型がわかれば，試料表面の電位を求めることができる．そこで本研究では，Li⁺伝導性固体電解質に対しAM-AFM測定を行い，電解質の誘電率および表面電位測定を行った．