[16a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[16a-B10-12] ミニマル装置の設置環境評価

〇谷島 孝^1,2、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)

キーワード：ミニマルファブ

ミニマルファブはクリーンルームを必要としない半導体生産システムである。すでに我々はクリーン化を行わず、温湿度制御もオフィス空調レベルの実験室にて、トランジスタが正常に製造できることを実証してきたが、設置環境の変動については詳しく報告してこなかった。装置を設置している実験室の環境条件は継続的にデータ収集を行っている。そこで、本報告では、実験室の環境の詳細と、そこで作られるデバイス性能について述べる。