[16a-B12-1~12] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [16a-B12-1] LEDを用いた近接場光エッチング

〇(M2)西岡 克紘¹、Soppera Olivier²、八井 崇¹ (1.東大院工、2.IS2M)

キーワード：近接場光エッチング