[16a-B12-1~12] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [16a-B12-3] ドレスト光子フォノンを用いたSi LEDの発光スペクトルの加工条件依存性

〇(P)金 俊亨¹、川添 忠²、大津 元一¹ (1.東大院工、2.NPOナノフォト)

キーワード：ドレスト光子、シリコン、発光素子

近年Si内部のドーパント周りのドレスト光子と局在フォノンの相互作用に着目することで、間接遷移型であるSi中の光学遷移確率を高め、発光素子を実現できることが実証されている。しかし加工手法であるドレスト光子フォノン援用アニールの最適化やメカニズムの理解には不十分な部分がまだ多く、疑問として残っている。本講演ではドレスト光子フォノン援用アニール時の加工条件依存性について調べることで、上記の疑問に答える。