[16a-B2-1~13] 3.9 テラヘルツ全般

[16a-B2-5] 超短パルスレーザー加工によるテラヘルツ帯反射防止構造の評価

〇ベイ 鐘石¹、竹内 真皓¹、余 希¹、伊藤 亮祐¹、伊藤 圭介¹、小野 晋吾¹ (1.名工大物理)

キーワード：反射防止構造、テラヘルツ、超短パルスレーザー加工

テラヘルツ帯反射防止構造として、超短パルスレーザー加工により波長以下の周期構造をSiおよびGaAs基板に作成し、その反射低減率をテラヘルツ時間領域分光法で評価した結果について発表する。