[16a-B3-1~6] 6.5 表面物理・真空

[16a-B3-5] 非破壊電気コンタクトプローブの評価

〇吉武 道子¹、塩見 俊樹²、木下 健太郎^2,3、岸田 悟^2,3 (1.物材機構、2.鳥取大工、3.TiFREC)

キーワード：電気測定、接触面積、プローバー

極薄膜やグラフェンなどの二次元物質試料を破壊せずに簡便に電気コンタクトを形成するプローブの、電気コンタクト面積制御プロセスによるプローブ耐久性の評価と、面積制御プローブを用いて測定したPt膜の電気抵抗値の、通常のWプローブ・面積制限しない非破壊プローブとの比較について述べる。