[16a-B5-1~13] 12.1 作製・構造制御

△ [16a-B5-1] 原子ステップポリマー基板上における機能性薄膜の作製と評価

〇嶋田 航大¹、木下 太一郎¹、後藤 里紗¹、浦上 達宣²、小山 浩司³、三田 正弘⁴、金子 智^5,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.三井化学、3.並木精密宝石、4.協同インターナショナル、5.神奈川県産技セ)

キーワード：熱ナノインプリント、機能性薄膜、原子ステップパターン

独自製作の原子ステップポリイミド(PI)基板表面の単原子スケールパターンが機能性薄膜の原子レベル形状および結晶成長に与える影響について検討した。
まず熱ナノインプリント法により、単原子ステップサファイアをモールドとして、超平坦原子ステップPI基板を作製した。続いて、その上にPLD法によりZnO薄膜およびITO薄膜を成長させた。堆積した薄膜はPI基板の原子ステップ形状を反映し高い平坦性をもち、結晶化していることを確認した。