[16a-B5-1~13] 12.1 作製・構造制御

△ [16a-B5-12] フロー・コート法で作製したpBTTT-C16膜の電荷輸送特性の面内均一性

〇(M2)Bulgarevich Dmitrievich Kirill^1,2、坂本 謙二¹、三成 剛生¹、安田 剛¹、三木 一司^1,2 (1.物材機構、2.筑波大数物)

キーワード：フロー・コート法、高分子有機半導体、有機トランジスタ

ODTS処理された熱酸化膜付きSi基板上にフローコート法によって形成された高分子有機半導体pBTTT-C16膜の電荷輸送特性の空間均一性を、OFETアレイを作製して評価した。フローコート方向に対してチャネル長が平行、垂直であるOFETを30素子ずつ同一基板上に作製した。平行素子、垂直素子毎の移動度のばらつきは３％以下であった。この結果はフローコート膜の電荷輸送特性の優れた空間均一性を示している。