[16a-B7-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[16a-B7-3] 高周波ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝﾌﾟﾗｽﾞﾏを用いたグラフェンのCVD成長

〇(M1)石徹白 智¹、山田 隼也¹、河村 侑馬¹、林 康明¹ (1.京都工繊大)

キーワード：グラフェン、高周波マグネトロンプラズマ