[16a-B7-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[16a-B7-7] 離散的柱状構造化酸化スズ薄膜の近紫外域エレクトロクロミック特性

住友 望¹、仲尾 昌浩¹、〇井上 泰志¹、高井 治² (1.千葉工大工、2.関東学院大材料表面研)

キーワード：吸着誘起型エレクトロクロミック、自己遮蔽効果、微細構造制御

斜め堆積反応性スパッタリング法により，離散的ナノ柱状構造を制御した酸化スズ薄膜を作製し，その吸着誘起型エレクトロクロミック特性を調査した．その結果，離散的ナノ柱状構造化による透過率変化量の向上は認められたが，幾何学的な表面積と透過率変化量の相関は線形にならなかった．