[16a-B7-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[16a-B7-9] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの時空間構造解析

森 研人¹、添島 雅大¹、山下 大輔¹、徐 鉉雄¹、板垣 奈穂¹、〇古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九大シ情)

キーワード：ナノ粒子、プラズマ、プラズマ乱流解析

IoTなどによる情報量激増に対応するハードウエア性能の指数関数的成長は、”3D power scaling”で実現されるため、この新scalingに対応するプラズマプロセスの新展開が求められる。筆者らは、新たな視点で反応性プラズマを解析・制御することを目指している。現在までに、プラズマ乱流解析を適用して、反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎを抽出することに成功した。ここでは、放電領域内での相互作用ゆらぎの発生・伝搬を調べた結果を報告する。