[16a-C32-1~12] 3.8 光計測技術・機器

[16a-C32-6] 高速位相変調光を用いた振動変位計測―信号光強度変動の影響についての実験的検証

〇木村 亮祐¹、土屋 光揮¹、田中 洋介¹、黒川 隆志¹ (1.農工大工)

キーワード：振動変位計測、干渉計、位相変調