[16a-C42-1~11] 1.5 計測技術・計測標準

[16a-C42-4] 2軸直交グリッドプレート測定機

〇鍜島 麻理子¹、渡部 司¹、阿部 誠¹ (1.産総研)

キーワード：二次元グリッドプレート、画像測定機、レーザー干渉計

画像測定機を検査する際の基準器となる二次元グリッドプレートを、画像測定機に高精度測長レーザー干渉計を取り付けた校正装置を用いて校正している。校正装置の移動軸の直交性や真直性に起因する幾何誤差を低減する必要があり、現在は被校正物であるグリッドプレートを4回転させて平均するマルチステップ法を行っているが、プレートの置きなおしが必要になり、時間と手間がかかる。そこで、校正装置の幾何誤差自体を低減したい。本研究では、装置のX-Y軸の直交性を高めるため、レーザー干渉計を高精度に直交に配置した装置を構築し、幾何誤差の低減を図る。