[16a-C42-1~11] 1.5 計測技術・計測標準

[16a-C42-7] [講演奨励賞受賞記念講演] 熱応力誘起光散乱法によるマイクロクラック検出技術の研究開発

〇坂田 義太朗¹、寺崎 正¹、野中 一洋¹ (1.産総研)

キーワード：応力誘起光散乱法、ガラス基板、検査技術