[16a-C42-1~11] 1.5 計測技術・計測標準

△ [16a-C42-9] 多種ガス用微量水分発生装置におけるガス流量制御の安定性向上に関する研究

〇天野 みなみ¹、阿部 恒¹ (1.産総研)

キーワード：半導体、微量水分、標準

様々な半導体材料ガスに対する微量水分標準の確立を目指し、「多種ガス用微量水分発生装置」を開発している。本装置では、発生槽内で発生させた100 ppmのガス中水分から目標水分濃度(最小10 ppb)を得るために、乾燥ガスによる2段階希釈を行う。ここでは相対値10⁻³〜10⁻⁴ ％オーダーという非常に高精度な流量制御が要求される。音速ノズル式流量計によるガス流量の安定性評価、および室温変動が流量制御に与える影響について発表する。