講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16a-D61-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2016年9月16日(金) 09:00 〜 11:45 D61 (万代島ビル6階D1)

佐道泰造(九大)

10:00 〜 10:15

[16a-D61-5] Si(110)基板上SiGe膜の歪み緩和におけるイオン注入の効果

〇加藤まどか¹、村上太陽²、有元圭介²、山中淳二²、中川清和²、澤野憲太郎¹ (1.都市大総研、2.山梨大)

キーワード：Si(110)、イオン注入法