[16a-P3-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-P3-1] 低残留電子密度β-FeSi₂/Si多結晶薄膜における光変調反射率スペクトル

〇扇 和也¹、池田 修哉¹、飯沼 元輝¹、村社 尚紀¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：半導体、シリサイド、光変調反射率