2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-P3-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2016年9月16日(金) 09:30 〜 11:30 P3 (展示ホール)

09:30 〜 11:30

[16a-P3-2] スパッタリング法により作製したβ-FeSi2 多結晶薄膜のPL スペクトル

池田 修哉1、扇 和也1、飯沼 元輝1、村社 尚紀1、寺井 慶和1 (1.九工大情報工)

キーワード:半導体、シリサイド、PL