[16a-P6-1~9] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[16a-P6-1] CZシリコンにおける低温熱履歴のバルクライフタイムへの影響

〇宮村 佳児¹、原田 博文¹、中野 智¹、柿本 浩一¹ (1.九大　応力研)

キーワード：シリコン