[16a-P6-1~9] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[16a-P6-2] Si単結晶成長中の熱履歴がgrown-in欠陥の発生挙動に与える影響

〇末若 良太¹、最勝寺 俊昭¹、原田 和浩¹ (1.株式会社ＳＵＭＣＯ)

キーワード：シリコン、点欠陥