[16a-P6-1~9] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [16a-P6-3] Si単結晶中の酸素集積がフレンケルペア形成に与える影響に関する第一原理解析

〇福田 大晃¹、末岡 浩治² (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)

キーワード：シリコン、点欠陥、フレンケルペア