[16a-P6-1~9] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [16a-P6-5] Si単結晶固液界面における点欠陥取り込みに与える熱応力とドーパントの複合効果

〇(M2)小林 弘治¹、山岡 俊太¹、末岡 浩治¹ (1.岡山県大情報工)

キーワード：Si単結晶、点欠陥、熱応力