[16a-P6-1~9] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[16a-P6-7] a,c,r面sapphire上のエピタキシャルZnO薄膜のラマン散乱評価

〇蓮池 紀幸¹、落合 彩人¹、西尾 弘司¹、一色 俊之¹、播磨 弘¹ (1.京都工繊大)

キーワード：酸化物半導体